热处理真空炉是在真空环境中或者接近真空状态下通过电热元件进行加热的工业炉。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。
一、热处理真空炉加热主要特点：
1、传热方式：辐射；
2、加热速度慢；加热均匀性差；
3、实现无氧化、不脱碳；
4、工件表面光亮好；
5、工件不易变形。
二、真空热处理炉的结构分类：
1）外热式热处理真空炉
工作过程：放入工件—密封炉罐—抽真空—加热—保温—冷却。
优点：（1）结构简单；（2）气源少，容易获得真空；（3）不存在真空放电的问题；   
缺点：（1）加热速度慢；（2）受炉罐材料的限制，炉子最高使用温度不超过1100℃。   
用途：一些金属的退火
2）内热式热处理真空炉
①结构：炉壳（真空容器）、加热体、隔热屏、真空系统
②优点：（1）炉温不受耐热炉罐限制；(2)加热速度快。
③缺点：（1）结构复杂；(2)抽真空比外热式的炉子困难。（3）低电压大电流供电。
④用途：气冷式的炉子：高速钢、模具钢、马氏体不锈钢等的淬火处理；油冷式的炉子：低合金钢、合金工具钢、轴承钢等的淬火处理；